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排ガス処理装置

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テクセル排ガス処理装置は、あらゆる産業の製造プロセスから発生する腐食性ガスを 効率よく確実に除去し、作業環境はもちろん地球環境保全に大いに貢献しています。

 

エコ回転スクラバー

ERS形

特徴
  1. 省エネルギーで、高レベルの除去性能を維持
  2. 保守管理が容易
  3. 装置がコンパクト
  4. 搬入設置が容易

充填塔

TRS-HS形シリーズ <新製品>

特徴
  1. 新充填物・スプレーノズルを採用し、高除去性能を実現
  2. 省スペース化 当社比従来TRS-F形より30%削減
  3. メンテナンス性に優れた構造
  4. 高耐蝕ユニット湿式充填塔
  5. 給水口のクロスコネクション対応を標準化

TRS-F 大形シリーズ

特徴
  1. 現場組立時間が大幅に短縮できます。
  2. FRP製で高耐食
  3. 操作性・保守性が優れています。

STP形

特徴
  1. コンパクトなパッケージタイプ
  2. FRP製で高耐食
  3. 高性能
  4. メンテナンス性の向上

SYS-E形

特徴
  1. 塔高さが低くコンパクト
  2. FRP製で高耐食

スプレー塔

TES形シリーズ

特徴
  1. 気液直接接触による、省エネ・低コスト
  2. 高レベルの除去性能を維持
  3. シンプル構造により、メンテナンスフリー
  4. 長期連続運転に強い

バブリング塔

SBS-F形

特徴
  1. 目詰まりしない
  2. 運転管理が簡単
  3. 省エネルギー
  4. コンパクト化

風量可変バブリング塔

SCB-A形

特徴
  1. 開孔比可変仕様
  2. 目詰まりしない
  3. コンパクト化
  4. 運転管理が簡単
  5. 省エネルギー

屋内設置前処理バブリング塔

SBS-FU形

特徴
  1. 洗浄塔内に温度センサーを標準装備しております。
  2. 洗浄塔本体下部をSUS304で制作しております。
  3. 洗浄塔ぼ圧力損失検知器を標準装備しております。
  4. 循環水量の検知器を標準装備しております。
  5. キャビネット内にドレンパンを設置、液もれの心配がありません。
  6. 給水、循環水、逆洗浄水の流量をキャビネット外部より点検できます。
  7. 洗浄塔圧力損失、温度状況がキャビネット外部より点検できます。

ベンチュリー方式

ベンチュリー形

特徴
  1. 粉塵を効率化で除去します。
  2. ベンチュリースクラバーにより、粉塵を除去するため目詰まりがありません。
  3. 粉塵とともに有害ガスも同時に処理します。
  4. ミストキャッチャとセットし、洗浄可能な構造としました。

スプレー+ジェット+充填塔方式

TTS形

特徴
  1. 半導体製造工程から排出されるシラン系ガスの処理に威力を発揮。
  2. 除去効率99.9%以上(弊社納入実績;水洗浄方式により、入口濃度ジクロルラシン20,000ppmが濃度20ppm以上で吐出)
  3. メンテナンス性が大幅に向上、メンテナンスサイクルを3ヶ月〜1年に。(濡れ壁塔により特殊ガスが析出される結晶物の付着が低減、さらに全面散布形スプレー方式採用でガス除去と同時に塔内の付着を防止。)

ネットスプレー方式

NSP形

特徴
  1. 高性能
  2. FRP製で高耐食

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